一招掌握石英管真空密封環(huán)境下充入保護氣體

　　一、為什么要往石英管內(nèi)充入保護氣體

　　在做熱電材料研究、物理氣相沉積制備低維納米材料和水淬法制備非晶合金等都需要通入保護氣體與特定材料在各種溫度條件下進行化學反應，為此，如何在真空環(huán)境下快速、定量地往石英管內(nèi)充入保護氣體就顯得尤為重要。

　　二、石英管充入保護氣體需要什么設備

　　要在真空環(huán)境下充入保護氣體需要石英管真空封管機系統(tǒng)，我們以廣州善準儀器設備有限公司石英管真空封管機系統(tǒng)為例進行說明。

　　石英管真空封管機系統(tǒng)是由真空封管機（夾持并使石英管旋轉）+氫氧機（產(chǎn)生燒熔石英管的火焰）+真空泵（獲得真空環(huán)境）組成，該系統(tǒng)能夠定量充入保護氣體，保證每一支石英管被充入的保護氣體一致，可對外徑5mm至50mm 的石英管進行真空密封并充入保護氣體。

　　三、石英管充入保護氣體的操作順序

　　充入保護氣體一般在石英管放入石英柱（管堵），但還沒有開始燒結石英柱時進行，以石英管真空封管機系統(tǒng)為例，充入保護氣體的順序如下：

　　第1步：順時針擰緊關閉PUNPING SPEED 旋鈕，隔斷真空泵與石英管的氣路；

　　第2步：將密封機后面的氣管連接保護氣體氣源，提供的是φ10的接頭，直接把φ10的氣管插入此接頭；

　　第3步：將三通閥三角箭頭旋至INPUT GAS；

　　第4步：逆時針旋轉GAS SPEED旋鈕，觀察真空封管機前面的真空表壓力變化，按需充入保護氣體，充氣結束順時針擰緊關閉GAS SPEED旋鈕。

　　注：如后面的石英管還需要充入同樣的氣量，則不用關閉GAS SPEED，直接把三通閥三角箭頭旋至GAS OFF，下一支石英管在保護氣體時，再把三通閥旋轉至INPUT GAS，即可保證每一支石英管充入的氣量一致）。